真空鍍膜技術在光學儀器中的應用

       人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀、以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等。它們都離不開鍍膜技術，鍍制 的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。

       一般光學儀器中的光學系統(tǒng)都由多個透鏡組成，光線要經光氣-玻璃界面，會有相當多的光線被反射掉，透過的光線很少，影響光學儀器的光學效果。為了減少反射損耗，增大光線的透過率，往往在玻璃表面沉積增透膜來提高光的透過率。

       反射膜與增透膜相反，反射膜要求把入射光大部分或幾乎全部反射回去。例如：光學儀器、激光器、波導管、汽車和燈具的反射鏡都需要鍍反射膜。反射膜有金屬膜和介質膜兩種。

       鍍制金屬高反射膜最常用的材料有鋁、銀、金、銅等。為了提高金屬膜表面的抗擦損能力，往往在表面鍍一層保護膜，如SiO/SiO2/Al2O3。

       在激光器和多光束干涉儀反射鏡上，一般沉積低吸收、高反射的全介質反射膜。其結構是在基片上交替沉積光學厚度為λ/4的高、低折射率材料的膜層。

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